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首頁 > 產(chǎn)品中心 > 寬帶光源 > 其他寬帶光源 > 20W EUV 光源

產(chǎn)品中心

寬帶光源

ASE寬帶光源

臺式ASE寬帶光源模塊式ASE光源其他類型ASE寬帶光源

SLED寬帶光源

臺式SLED光源模塊式SLED光源 SLED寬帶光源-二極管 OCT應(yīng)用-SLED光源 SLED光源驅(qū)動

其他寬帶光源

激光驅(qū)動白光光源 LED寬帶光源 | Fiberlabs 超連續(xù)譜光源
激光器

可調(diào)諧激光器

窄線寬激光器連續(xù)波激光器多通道可調(diào)諧激光器 Santec可調(diào)諧激光器 IDPhotonics可調(diào)諧激光器光脈沖發(fā)生器量子應(yīng)用激光器

單頻激光器

單頻激光器光學(xué)頻率基準(zhǔn)激光器頻率穩(wěn)定激光系統(tǒng)

波長掃描激光器

波長掃描激光器高性能可調(diào)諧激光器

連續(xù)波高功率激光器

1550nm高功率激光器 1064nm波段高功率激光器連續(xù)波高功率激光器

脈沖激光器

飛秒激光器皮秒激光器納秒激光器光脈沖發(fā)生器激光頻率梳 THz激光器光學(xué)參量振蕩器OPO

超連續(xù)譜激光器

通用型超連續(xù)譜激光器
電光調(diào)制器

強度調(diào)制器

exail/iXblue-強度調(diào)制器 EOSPACE-強度調(diào)制器 Optilab-強度調(diào)制器薄膜鈮酸鋰強度調(diào)制器TFLN 電光調(diào)制系統(tǒng)集成偏壓

相位調(diào)制器

exail/iXblue-相位調(diào)制器 EOSPACE-相位調(diào)制器 Optilab-相位調(diào)制器薄膜鈮酸鋰相位調(diào)制器TFLN-PM

IQ調(diào)制器

exail/iXblue-IQ調(diào)制器 EOSPACE-IQ調(diào)制器單邊帶應(yīng)用IQ調(diào)制器

調(diào)制器驅(qū)動&脈沖發(fā)生器

模擬驅(qū)動器數(shù)字驅(qū)動器脈沖驅(qū)動器多功能驅(qū)動器電脈沖發(fā)生器

調(diào)制器偏壓控制器

模擬應(yīng)用偏壓控制器數(shù)字/脈沖應(yīng)用偏壓控制器 IQ調(diào)制器偏壓控制器特殊應(yīng)用偏壓控制器

空間光調(diào)制器

液晶空間光調(diào)制器空間光調(diào)制器（SLM）波前整形器

自由空間光電光調(diào)制器

普克爾盒 Q開關(guān) 低壓驅(qū)動電光調(diào)制器普克爾盒驅(qū)動普克爾盒Q開關(guān)驅(qū)動低壓驅(qū)動電光調(diào)制器驅(qū)動

其他類型電光調(diào)制器

偏振開關(guān)&偏振擾偏器光諧振調(diào)制器

電光調(diào)制系統(tǒng)

光網(wǎng)絡(luò)分析儀VNA 參考發(fā)射機脈沖整形與激光前端模擬傳輸系統(tǒng) 相干接收機
聲光調(diào)制器

聲光調(diào)制器

光纖耦合聲光調(diào)制器FAOM 自由空間光聲光調(diào)制器AOM

聲光移頻器

光纖耦合聲光移頻器FAOFS 自由空間光聲光移頻器AOFS

聲光驅(qū)動器

聲光驅(qū)動器

聲光偏轉(zhuǎn)器

聲光偏轉(zhuǎn)器

聲光Q開關(guān)

聲光Q開關(guān)

聲光濾波器

聲光濾波器
光放大器

摻鉺光纖放大器EDFA

標(biāo)準(zhǔn)/高功率EDFA 預(yù)放/助推EDFA 保偏摻鉺光纖放大器脈沖摻鉺光纖放大器 L波段摻鉺光纖放大器鉺鐿共摻光纖放大器EYDFA 增益平坦摻鉺光纖放大器摻鉺光纖放大器 | leyu集團光電

摻鐿光纖放大器YDFA

連續(xù)波摻鐿光纖放大器保偏摻鐿光纖放大器高功率摻鐿光纖放大器摻鐿光纖放大器 | leyu集團光電

摻鉍光纖放大器BDFA

標(biāo)準(zhǔn)臺式摻鉍光纖放大器標(biāo)準(zhǔn)機箱式摻鉍光纖放大器

摻鐠光纖放大器PDFA

標(biāo)準(zhǔn)臺式O波段光纖放大器標(biāo)準(zhǔn)機箱式O波段光纖放大器模塊式O波段光纖放大器

其他波長光纖放大器

980nm波段光纖放大器 850nm波段光纖放大器其他波長光放大器

半導(dǎo)體光放大器

半導(dǎo)體光放大器 | leyu集團光電 C+L波段半導(dǎo)體光放大器 O波段半導(dǎo)體光放大器 X波段半導(dǎo)體光放大器其他波段半導(dǎo)體光放大器其他類半導(dǎo)體光放大器增益芯片/增益模塊

拉曼光纖放大器

拉曼光纖放大器
光電探測器

光電二極管芯片

超快InGaAs二極管芯片 InGaAs二極管芯片雪崩光電二極管 (APD) 芯片

光電探測器

光電探測器（leyu集團光電） PIN光電探測器光電探測器模塊帶放大光電探測器 Si光電探測器 50~100GHz+光電探測器 THz光電探測器 2um光電探測器

平衡光電探測器

差分平衡探測器雙平衡光電探測器

光電接收器

DPSK/DQPSK接收器相干接收器光電接收器光電轉(zhuǎn)換模塊

單光子光電探測器

單光子光電探測器模塊單光子探測器

光電倍增管（PMT）

光電倍增管（裸管）光電倍增管組件光電倍增管模塊微型光電倍增管PMT 光子探測單元混合光電探測器（HPD）光電倍增管附件

光電探測器放大器

光電二極管放大器光電探測器跨阻放大器
光開關(guān)

高速光開關(guān)

納秒級光開關(guān)（Agiltron）納秒級光開關(guān)（BATI）納秒級光開關(guān)（EPI）納秒級光開關(guān)（其他）

us級光開關(guān)

標(biāo)準(zhǔn)CL系列光開關(guān)-單模標(biāo)準(zhǔn)CL系列光開關(guān)-單模-雙向標(biāo)準(zhǔn)CL系列光開關(guān)-保偏標(biāo)準(zhǔn)CL系列光開關(guān)-保偏-雙向標(biāo)準(zhǔn)高功率CL系列光開關(guān)-單模標(biāo)準(zhǔn)高功率CL系列光開關(guān)-單模-雙向標(biāo)準(zhǔn)高功率CL系列光開關(guān)-保偏標(biāo)準(zhǔn)高功率CL系列光開關(guān)-保偏-雙向 CL系列光開關(guān)-LIDAR應(yīng)用 CL系列光開關(guān)矩陣

ms級光開關(guān)

MEMS光開關(guān)

多路光開關(guān)/開關(guān)矩陣

多路光開關(guān)/開關(guān)矩陣

偏振光開關(guān)

偏振光開關(guān)
光通信器件

光纖濾波器

高性價比光纖濾波器高精細可調(diào)諧光纖濾波器科研型帶寬可調(diào)光纖濾波器可編程光波處理器 Santec可調(diào)諧光纖濾波器 F-P光纖濾波器

可調(diào)光延遲線

手動可調(diào)光延遲線電控可調(diào)光延遲線

可調(diào)移相器

可調(diào)移相器

起偏器與消偏器

起偏器消偏器

光功率控制產(chǎn)品

高速可調(diào)光衰減器電控可調(diào)光衰減器手動可調(diào)光衰減器光功率調(diào)節(jié)器&限制器

光纖耦合器/分束器

光纖耦合器光纖分束器光分束器&合束器偏振合束器/分束器

法拉第旋轉(zhuǎn)器/隔離器

光纖分束器&合束器法拉第旋轉(zhuǎn)器法拉第隔離器光纖隔離器光纖反射鏡

波分復(fù)用器

微光波分復(fù)用器MWDM 粗波分復(fù)用器CWDM 密波分復(fù)用器DWDM

空分復(fù)用產(chǎn)品

光子燈籠少模EDFA 模式復(fù)用器/解復(fù)用器
偏振控制產(chǎn)品

偏振控制器

臺式偏振控制器電控偏振控制器手動偏振控制器偏振旋轉(zhuǎn)器偏振跟蹤與穩(wěn)偏

偏振測量儀器

偏振分析儀/測量儀 PDL測試儀 DOP測試儀偏振穩(wěn)偏儀消光比測試儀偏振仿真儀器

偏振擾偏器

臺式偏振擾偏器模塊式偏振擾偏器

偏振光學(xué)元件

偏振器
測試儀器

相關(guān)儀

自相關(guān)儀互相關(guān)儀

偏振測試儀器

偏振分析儀/測量儀 PDL測試儀 DOP測試儀偏振穩(wěn)偏儀消光比測試儀偏振仿真儀器

光束分析儀

光束分析儀

光譜儀

便攜式光譜儀模塊式光譜儀高精度光譜儀 THz光譜儀 OCT光譜儀拉曼光譜儀微型光譜儀

光功率計/波長計

光功率計光波長計

線寬測試儀

C+L波段線寬測試儀 IR激光線寬測試儀

光學(xué)參量振蕩器

光學(xué)參量振蕩器

其他測試儀器

光時域反射儀OTDR 信噪比測試儀誤碼率測試儀光電探測器帶寬測試系統(tǒng)
光學(xué)系統(tǒng)及部件

掃描振鏡系統(tǒng)

單軸雙軸 MEMS振鏡 MEMS振鏡控制器 MEMS振鏡驅(qū)動器

光柵

透射光柵 VPH光柵 OCT光柵光譜儀光柵激光脈沖壓縮光柵高光譜成像光柵天文光柵可調(diào)FBG

FBG類產(chǎn)品

可調(diào)諧FBG 波長鎖定器 FBG光纖濾波器寬帶FBG 相移FBG 密波分復(fù)用FBG

晶體與偏振光學(xué)

TeO2晶體激光晶體非線性晶體

壓電器件

光纖拉伸器壓電促動器驅(qū)動器
太赫茲產(chǎn)品

太赫茲激光器

太赫茲激光器

太赫茲相機

太赫茲相機

太赫茲探測器

太赫茲探測器

太赫茲掃描成像

太赫茲掃描成像

太赫茲光譜儀

太赫茲光譜儀

太赫茲源

太赫茲源/可調(diào)太赫茲源

太赫茲元件

太赫茲元件太赫茲偏振器太赫茲法布里帕羅干涉儀

太赫茲組件

太赫茲衍射光柵太赫茲物鏡太赫茲衰減器太赫茲擴束器太赫茲隔離器太赫茲低通濾波器太赫茲帶通濾波器太赫茲比色皿
高速電子產(chǎn)品

脈沖源

電脈沖發(fā)生器數(shù)字延遲脈沖發(fā)生器

伺服控制器

伺服控制器

電子測試儀器

誤碼率測試儀

數(shù)據(jù)采集卡

FPGA數(shù)據(jù)采集卡 FPGA開發(fā)板

鎖相放大器

SRS鎖相放大器 Zurich鎖相放大器鎖相放大器
激光二極管及激光器驅(qū)動

激光二極管

高功率激光二極管 DFB激光二極管 FBG激光二極管 FP激光二極管多模激光二極管直接調(diào)制激光二極管

激光器驅(qū)動

連續(xù)波驅(qū)動脈沖波驅(qū)動 QCW驅(qū)動（準(zhǔn)連續(xù)波驅(qū)動）高功率驅(qū)動種子源驅(qū)動蝶形激光器驅(qū)動激光器溫控信號源

激光及防護相關(guān)

激光晶體（Laser Crystals）非線性晶體（Nonlinear Crystals）可飽和吸收鏡（SAM）激光鏡（Laser Mirrors）激光擴束器/光束整形光束觀察儀&感光卡激光束可視化儀激光護目鏡防輻射眼鏡
光纖及光纖熔接處理

通用及摻雜光纖

單模光纖保偏光纖摻鉺光纖Er 摻鐿光纖Yb 鉺鐿共摻光纖Er/Yb 摻釹光纖Nd 摻銩光纖Tm 摻鈥光纖Ho 其他摻雜光纖

特種光纖

抗輻照光纖光子晶體光纖旋轉(zhuǎn)光纖傳感光纖光敏光纖氟化物光纖大模場直徑光纖-傳能光纖耐高溫光纖

其他特殊光纖

非線性光纖色散補償光纖少模光纖拉曼光纖其他特殊光纖

光纖熔接處理

光纖熔接處理光纖切割刀其他光纖熔接處理設(shè)備

光纖跳線

單模光纖跳線保偏光纖跳線特種光纖跳線
光電通信產(chǎn)品

射頻光纖傳輸

RFoF鏈路光波發(fā)射傳輸光波接收模塊光波調(diào)制模塊光波調(diào)制器系統(tǒng)

數(shù)字通信

鈮酸鋰電光調(diào)制器數(shù)字射頻放大驅(qū)動器光電探測器&接收器平衡探測器&相干接收機窄線寬激光器

相干通信

相干發(fā)射機相干接收機 IQ調(diào)制器波分復(fù)用器平衡探測器光混頻器
量子應(yīng)用產(chǎn)品

電光調(diào)制器

強度調(diào)制器（QT）相位調(diào)制器（QT）電光調(diào)制器驅(qū)動（QT）偏置點控制器（QT）

聲光調(diào)制器

聲光調(diào)制器（QT）聲光移頻器（QT）聲光驅(qū)動器（QT）

量子應(yīng)用元件

光纖移相器（QT）光學(xué)延遲線（QT）壓電促動器（QT）光倍頻模塊（QT）伺服控制器（QT）

量子系統(tǒng)

絕對重力儀（QT）原子鐘系統(tǒng)（QT）集成激光系統(tǒng)（QT）任意波形信號發(fā)生器（QT）
光纖傳感與解調(diào)

光纖傳感器件

光混頻器光學(xué)延遲線光纖拉伸器光纖傳感系統(tǒng) 光纖電場傳感器

干涉儀

光纖干涉儀延遲線干涉儀

氣室/氣池（氣體吸收池）

氣體吸收池（氣池/氣室）光纖耦合參比氣池

傳感與解調(diào)其他產(chǎn)品

傳感與解調(diào)其他產(chǎn)品

激光器(傳感)

激光器

電光調(diào)制器

電光調(diào)制器
OCT系統(tǒng)相關(guān)

SD-OCT系統(tǒng)

SD-OCT系統(tǒng)OQ LabScope SD-OCT系統(tǒng)OQ StrataScope

OCT光源

SD-OCT寬帶光源 SS-OCT掃頻源 SS-OCT掃頻源VCSEL SS-OCT系統(tǒng)

OCT光譜儀

SD-OCT光譜儀

OCT光柵

SD-OCT光柵

掃描振鏡系統(tǒng)

掃描振鏡

掃描相機

SD-OCT掃描相機

壓電器件

壓電觸動器

透鏡（OCT相關(guān)）

可變焦透鏡

光機械

光機械

OCT/其他

其他 OCT模型眼
視覺成像產(chǎn)品

相機

CCD相機 COMS相機線陣相機面陣相機科研級相機 InGaAs相機

數(shù)據(jù)采集卡

Acqiris高速采集卡 Alazartech數(shù)據(jù)采集卡
光學(xué)平臺及光機械產(chǎn)品

光學(xué)平臺

氣浮隔振光學(xué)平臺阻尼隔振光學(xué)平臺

20W EUV 光源

用于HVM的EUV光源的一大優(yōu)勢就在于可以在10 kHz或更高的脈沖重復(fù)頻率下運行。光源本身具有小型緊湊成本低且用戶友好等特點，加之采用Z-pinch?技術(shù)，非常適用于計量以及研究等應(yīng)用。

產(chǎn)品特點

· 獨特的無電極Z-Pinch技術(shù)（專利正在申請中）低電極碎屑/低成本

· 使用Xenon將10W轉(zhuǎn)換為2pi 產(chǎn)品具有更高的亮度和功率可以運用到更多的應(yīng)用中

· 小等離子體尺寸直徑小于1mm

· 小型緊湊性價比高占地面積小

· 符合CE和SEMI S2-0715標(biāo)準(zhǔn)

典型應(yīng)用

· EUV掩模檢測

· EUV測量

· EUV抗蝕劑顯影

· EUV顯微

相關(guān)文件

產(chǎn)品介紹

原理介紹

為了滿足不同應(yīng)用的使用需求，該產(chǎn)品在使用上進行了如下的優(yōu)化，以期更加地用戶友好：1、用戶可以根據(jù)對峰值功率和峰值亮度的不同來調(diào)節(jié)EUV的光輸出。2、在典型操作中，等離子體的直徑通常小于1mm。3、系統(tǒng)外側(cè)留有光學(xué)接口，方便客戶進行應(yīng)用程序設(shè)備的連接。4、自定義彩色用戶頁面，客戶可跟根據(jù)需求選擇手動或者自動菜單。

產(chǎn)品型號及主要指標(biāo)

相關(guān)產(chǎn)品

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光學(xué)平臺及光機械產(chǎn)品

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